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净化工程

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洁净室

  • 物理参数

洁净度等级:根据空气中颗粒物的数量和大小来划分,常见的有ISO 1-9级,以及中国的万级、十万级、百万级等标准。这些等级反映了洁净室内空气的洁净程度。 换气次数:单位时间内洁净室内空气的更换次数。不同洁净度等级的房间有不同的换气次数要求,例如十万级洁净室为10-15次/小时,万级洁净室为15-25次/小时,千级洁净室为50-52次/小时等。 温湿度:洁净室内的温度和湿度需要控制在一定范围内,以保证生产过程的稳定性和产品质量。通常,温度控制在冬季>16℃±2℃,夏季<26℃±2℃,而湿度控制在45-65%(RH)之间。 压差:洁净室与其相邻房间之间需要保持一定的压差,以防止外界空气未经处理就进入洁净室。主车间对相邻房间的压差应≥5Pa。 噪声:洁净室内的噪声应控制在一定范围内,以保证人员的舒适度和避免对生产过程造成干扰。噪声通常要求≤65dB(A)或更低。 照度:洁净室内的照度应满足生产和操作的需求。照度要求通常≥300Lux,但在一些特殊区域,如工作台、检查台等,照度可能要求更高。 空气流速与气流分布:洁净室内的空气流速和气流分布对维持洁净度至关重要。通过合理设计送风口、回风口和气流组织方式,可以实现均匀的气流分布和适当的空气流速。 静电控制:在微电子等行业中,静电可能对产品质量造成严重影响。因此,洁净室需要采取适当的静电控制措施,如使用抗静电材料、设置静电消除器等。

  1. 详情介绍

洁净室,也被称为无尘室或清净室,是一个密闭性较好的空间,其内部空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数都根据需要进行严格控制。这种空间主要用于需要高洁净度环境的行业,如精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)、宇航、原子能等。

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